蠕动式X-Y-θ微动工作台的设计实现

• 作者: 刘钦彦 吴鹰飞 周兆英 李勇 林超
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电元件 柔性铰链机构 X-Y-θ微动工作台
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 263-265
• 页数: 4页
• 分类号: TH13
• 字数: 2984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2001.03.307

摘要

提出了一种新颖的X-Y-θ微动工作台。利用单一压电元件驱动及柔性铰链机构传动获得平面上3个自由度的运动，并与电磁夹紧机构配合实现蠕动式进给,使平面工作台具有高的位移分辨率、大的工作行程和简洁的结构。工作台的核心部件柔性铰链传动机构采用对称设计，有利于运动的导向。通过力学分析，对柔性铰链机构进行了参数选择。测试了工作台的性能，柔性铰链机构刚度的实测值同理论值接近。运动速度大于10μm/s,位移分辨率小于0.1μm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴鹰飞		13	924	9.0	13.0
2	林超		70	501	12.0	19.0
3	李勇		80	1657	21.0	38.0
4	周兆英		1	68	1.0	1.0
5	刘钦彦		1	68	1.0	1.0