快速边界识别算法用于达曼光栅掩模数据生成的研究

• 作者: 刘莎莎 周辉 李松 李笑 李莹 郑国兴 郭想
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 达曼光栅 边界识别算法 掩模
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 图像与信号处理
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN29
• 字数: 2663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.04.013

摘要

针对达曼光栅的数据写入问题,提出了一种快速边界识别算法(FBIA)用于复杂二元光学图形掩模的CIF格式数据的生成.该算法首先识别出达曼光栅图形的边界点,然后按照左手原则对边界点进行排序并构成闭合曲线.针对闭合曲线中可能出现的"孤岛",该算法可自动识别并依据其数量对图形重新分割取点.结果表明FBIA算法具有搜索快、效率高等优点,可广泛应用于各种二元位相型元件CIF格式掩模板数据的生成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李莹	武汉大学电子信息学院	36	130	6.0	10.0
2	李松	武汉大学电子信息学院	193	736	14.0	21.0
3	周辉	武汉大学电子信息学院	49	357	11.0	16.0
4	郑国兴	武汉大学电子信息学院	13	60	4.0	7.0
5	郭想	武汉大学电子信息学院	2	7	1.0	2.0
6	李笑	武汉大学电子信息学院	2	3	1.0	1.0
7	刘莎莎	武汉大学电子信息学院	2	4	1.0	2.0