光学干涉位相移动法评价压电陶瓷响应曲线

• 作者: 周恒为 夏莉艳 张新阳
• 来源期刊: 伊犁师范学院学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉 位相移动法 响应曲线 微位移
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 字数: 1275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-999X.2009.01.007

摘要

压电陶瓷是具有压电效应的一种功能陶瓷,其随电压的微位移形变精度很高,在微技术领域应用广泛,响应曲线是评价压电陶瓷性能的主要指标.利用光学干涉的手段获得形变干涉图样,采用位相移动的方法从图样中解析出形变大小,从而获得压电陶瓷的实际响应曲线.