利用CO2激光法快速制造PMMA基材的微流控分析芯片

• 作者: 傅龙明 朱伟中 林秋丰 梁智创 洪廷甫 蔡建雄
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光 微流控分析芯片 PMMA 离焦法
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 351-354
• 页数: 4页
• 分类号: TQ15
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.04.015

摘要

提出一种广泛使用的C02激光法,以直接读写烧蚀的方式,进行快速的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基材的微流控分析芯片的制造.利用此方法所制造的微流道,将以扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)及表面轮廓仪进行各项表面性质的分析.本文所发展的CO2激光烧蚀法,提供了一个可广泛使用及具有经济效应的PMMA基材的微流控分析芯片的制造方法.在此激光制程法中,微流控分析芯片的制造图案可由商业的套装软件绘制而成,再传输至激光系统中进行烧蚀微管道,结果显示利用离焦法的激光制程技术,在没有退火处理的情况下.就可以获得表面相当平滑的微流道,表面粗糙度小于4 nm.