纳米TiO2薄膜的制备及其光谱特性研究

• 作者: 周炳卿 李力猛 王丽娟 那日苏 郝丽媛 陈霞 韩兵
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 化学
• 关键词: TiO2纳米膜 溶胶-凝胶法 XRD 紫外-可见光谱
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 17-22
• 页数: 6页
• 分类号: O612.4
• 字数: 2895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2009.05.004

摘要

采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺,以普通玻璃为衬底,制备均匀、透明的TiO2纳米薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光谱(UV/vis)对TiO2进行表征.通过500℃、600℃、700℃、800℃和900℃恒温烧结2h后XRD测试表明:经500℃退火得到TiO2粉末为锐钛矿晶相,800℃转化为金红石相结构,900℃出现了金红石相与板钛矿相的混合晶相.通过AFM观测,薄膜的平均粗糙度为1.71nm.通过紫外可见光谱分析,探讨了影响TiO2纳米膜厚度和禁带宽度度的各种因素.结果表明:涂膜次数、热处理温度等将直接影响二氧化钛薄膜的紫外可见光谱和禁带宽度.