极紫外光刻投影光学系统的研究

• 作者: 秦秋霞
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外 投影光学系统 先刻
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 光机电研究
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2009.07.006

摘要

本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求.在此基础上,文章对精密非球面加工和计算机辅助光学装校也进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦秋霞		4	11	2.0	3.0