应用硅和非硅MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池

• 作者: 刘晓为 张宇峰 汤小川 王喜莲 苑振宇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 甲醇燃料电池 硅基技术 非硅微加工 微机电系统 最大功率密度
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1218-1222
• 页数: 5页
• 分类号: TM911.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.003

摘要

分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构.利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使用1.5 mol/L甲醇溶液供液时其开路输出电压为520 mV,最大输出功率密度达到5.9 mW/cm2;利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2 mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650 mV,最大输出功率密度达到15.8 mW/cm2.