共路激光干涉测量系统的研究

• 作者: 王丽华
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 光路设计 精密测量 纳米级位移 激光干涉 共路原则
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2-5
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2009.06.001

摘要

激光干涉测量系统在精密测量领域占有重要地位,它对温度变化、大气变化、激光波长变化、机械安装误差和外界振动等比较敏感,影响系统的测量精度和稳定性.针对此情况,该文提出一种新型的激光干涉光路,两光臂呈完全共路结构,使干涉条纹信号具有极强的抗干扰能力;对光路进行抗干扰分析和理论推导;构建位移测量系统,进行系统测试实验和误差分析.实验表明,本系统测量分辨力0.72 nm,合成标准不确定度5.2 nm(k=2),运行速度0.56 mm/s,量程0.01 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽华	天津大学精密仪器与光电子工程学院	7	110	5.0	7.0