同步相移干涉表面精密测量

• 作者: 刘晓军 王益民
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 同步相移 激光干涉 表面测量 在线
• 年，卷（期）: 2009,（18）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2218-2222
• 页数: 5页
• 分类号: TH744
• 语种: 中文

摘要

基于激光波面干涉表面形貌测量原理,提出以偏振相移为基础的同步相移技术,研究具有抗振特性的精密表面激光波面干涉测量方案,以解决精密表面加工中的在线在机质量监测问题.介绍同步相移偏振干涉表面测量原理,分析其抗振抗环境干扰特性,构建测量系统实验装置,并完成测试实验.分析和测试实验结果验证了研究的同步相移激光波面干涉测量系统用于在线表面精密测量的良好适应性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军		60	357	11.0	15.0
2	王益民		3	3	1.0	1.0