显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量

• 作者: 刘晓军 高咏生
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 粗糙度 剪切干涉 显微干涉 抗振
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 页码范围: 70-71，74
• 页数: 3页
• 分类号: TG806
• 字数: 1661字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2004.07.024

摘要

结合剪切干涉技术与显微干涉技术,提出了显微剪切干涉非接触表面粗糙度轮廓测量方法.由于自参考干涉和共路偏振相移干涉特点,建议的干涉仪具有极好的抗环境干扰和振动的能力,同时能取得一般显微干涉仪的表面粗糙度测量精度,适合制造环境下表面粗糙度精密测量.介绍了发展的显微剪切干涉仪的原理,以及相应于粗糙度轮廓的波前重建算法.实验结果证明了该方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	高咏生	香港科技大学机械工程系	21	297	11.0	17.0