相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度

• 作者: 初巧妹 叶成刚 唐科慧 贾鹏 马小军 高党忠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉 ICF微球 内表面粗糙度 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 224-228
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3693字
• 语种: 中文

摘要

通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚α甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级.以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面形貌的调制作用为研究对象,讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响,确定了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度,实验结果表明:对于表面粗糙度小于30 nm、厚度小于9 μm的微球,测量不确定度小于0.4 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马小军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	36	107	5.0	8.0
2	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0
3	贾鹏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	12	32	4.0	5.0
4	叶成刚	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	19	3.0	4.0
5	初巧妹	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	47	4.0	6.0
6	唐科慧	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	11	1.0	1.0