纳米电子束曝光系统

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光系统 纳米设备 澳大利亚 研究人员 纳米级 蚀刻
• 年，卷（期）: gxjmjx_2009,（3）
• 页码范围: 2
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.7

摘要

据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。