旋转法下降炉的智能控制

• 作者: 姚婕 王建春 雷小博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 下降法 晶体生长炉 坩埚加速旋转技术 控制 ADμC812
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 1639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.02.006

摘要

随着我国人工晶体材料工业的飞速发展,急需性能优良、稳定性好、自动化程度高的晶体生长设备.提出了炉室上升坩埚旋转技术,不仅利于提高生长晶体的品质,而且生长设备简单,易于实现自动化控制.采用性能优良的ADμC812微控制芯片进行控制,是晶体生长设备控制方法的有益探索.该设备自动化程度较高,速度运行可靠,维护简单方便,具有推广价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建春		7	14	2.0	3.0
2	姚婕		3	4	1.0	1.0
3	雷小博		5	11	2.0	3.0