基于三层悬臂梁结构的电容式风速传感器设计

• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 风速传感器 微电子机械系统 三层悬臂梁 电容
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2777字
• 语种: 中文

摘要

为解决传统电容式测风传感器的输出非线性,设计了一种基于MEMS微机械加工技术的电容式风速传感器.传感器的敏感结构创新性地采用了一个三层结构的悬臂梁,这种三层结构的悬臂梁构成了一个平行板电容器.风力作用于传感器敏感结构引起电容器的极板面积、极板间距以及绝缘层介电常数的变化,从而引起电容器输出电容的变化,通过测量传感器输出电容的变化值可以实现风速的测量.基于流体力学原理和多层悬臂梁理论对传感器进行了理论分析,并为传感器设计了制作工艺流程.