CN200710053095．3一种纳米复合类金刚石涂层制备方法

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石涂层 制备方法 纳米复合 金属碳化物 乙炔气体 电弧放电 磁场控制 电弧运动
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 36
• 页数: 1页
• 分类号: TG174.4

摘要

本发明公开了一种纳米复合类金刚石涂层制备方法，利用磁场控制的阴极电弧放电，通人乙炔气体使金属靶前乙炔过量，靶面形成金属碳化物层，当电弧运动时从靶面蒸发出金属碳化物，此外电弧靶前方在辅助磁场作用下利用电弧放电产生的强等离子体离化乙炔气体，产生高度离化的碳离子，在偏压的作用下，从靶面蒸发的金属碳化物和乙炔产生的碳离子在工件表面形成碳化物掺杂纳米复合类金刚石涂层。本发明制备类金刚石涂层具有涂层硬度高、