薄膜生长初期的蒙特卡罗模型

• 作者: 朱祎国
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜生长 蒙特卡罗模型 形貌
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 工程力学
• 页码范围: 781-785
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2857字
• 语种: 中文

摘要

构造了薄膜生长的蒙特卡罗模型,并应用该模型研究了薄膜生长初期岛的形貌.模型中考虑了主要的3个动力学过程:原子沉积、原子扩散及原子脱附,并且认为这3个过程既相互独立又相互影响,即在同一计算步长中,3个过程依据各自速率所构造的概率发生,同时扩散及脱附速率是随着沉积过程的进行而变化的.结果表明,当基底温度较低或者沉积速率较快时形成分形岛;而当基底温度较高或者沉积速率较慢时形成紧致岛.这一结论也得到了实验的验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱祎国	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室	15	59	4.0	7.0