热阴极离子镀技术制备特种硬质薄膜及性能研究

• 作者: 张勇 曹晓英 栾道成 罗德福 赵广彬 陈甥怡
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热阴极离子镀 CrNx薄膜 结构 性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 1987字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2009.06.029

摘要

采用热阴极离子镀技术在YG6基体上制备了CrNx薄膜,利用X射线衍射方法、划痕试验、扫描电镜观察对所制备的试样进行了物相、结构分析和性能测试.结果表明:热阴极离子镀技术能够制备出CrNx薄膜;膜-基结合强度好;膜层呈致密的柱状晶;5号试样性能最佳.参考5号试样工艺在模具表面镀CrNx薄膜,将镀层与未镀层的模具做加工试验对比,镀层后能显著提高模具的寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栾道成	西华大学材料科学与工程学院	102	687	13.0	20.0
2	罗德福	西华大学材料科学与工程学院	25	148	8.0	11.0
3	赵广彬	西华大学材料科学与工程学院	24	89	6.0	7.0
4	曹晓英	西华大学材料科学与工程学院	4	13	2.0	3.0
5	陈甥怡	西华大学材料科学与工程学院	4	13	2.0	3.0
6	张勇	西华大学材料科学与工程学院	6	10	2.0	3.0