表面波等离子体天线的能量衰减系数研究

• 作者: 位朝垒 孙乃峰 李建 王世庆 鄢泽林
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体天线 等离子体密度 能量衰减系数 表面波
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 251-254
• 页数: 4页
• 分类号: O536
• 字数: 2115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.06

摘要

根据功率平衡原理,得到了表面波等离子体天线中等离子体柱长度、等离子体密度与馈入功率的关系,导出了表面波等离子体天线中能量衰减系数沿轴向分布.实验测得充气压强为0.5Pa,6Pa和40Pa时等离子体柱长度、馈入功率和等离子体密度,得到能量衰减系数的实验值.结果表明,等离子体柱上z点的能量衰减系数为该点到等离子体柱顶端距离的倒数,实验所测结果与理论符合得很好.该结论对研究表面波等离子体天线的激励和维持十分重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建	成都理工大学工程技术学院	28	65	5.0	7.0
2	王世庆	成都理工大学工程技术学院	37	136	7.0	9.0
3	鄢泽林	成都理工大学工程技术学院	10	23	2.0	4.0
4	位朝垒		3	21	3.0	3.0
5	孙乃峰		4	23	3.0	4.0