基于FIB技术的微纳单元的研制

• 作者: 向毅 吴英 李斌 江永清 聂洪彬 许迪
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 气相生长 FIB
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 389-391,395
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文

摘要

利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺.结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向毅	重庆科技学院电子信息工程学院	26	114	6.0	9.0
2	吴英	重庆科技学院电子信息工程学院	25	127	6.0	10.0
3	江永清		15	62	5.0	7.0
4	许迪	重庆科技学院电子信息工程学院	3	1	1.0	1.0
5	李斌		8	34	3.0	5.0
6	聂洪彬	重庆科技学院电子信息工程学院	1	0	0.0	0.0