柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用

• 作者: 方晓东 董伟伟 邓赞红 邵景珍 陶汝华
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 透明 导电 氧化物薄膜 柔性衬底
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 675-680
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 4733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.05.011

摘要

柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用.文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方法,最后对柔性透明导电氧化物薄膜在各个领域的开发应用和未来的重点研究方向进行了展望.