包覆型CeO2/SiO2和CeO2/聚苯乙烯复合磨料的制备及其化学机械抛光性能

• 作者: 陈志刚 陈杨 隆仁伟
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铈/氧化硅复合磨料 氧化铈/聚苯乙烯复合磨料 包覆 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 1880-1885
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2009.11.016

摘要

以SiO2和聚苯乙烯(polystyrene,PS)微球为内核,采用液相沉淀工艺制各了具有包覆结构的CeO2/SiO2和CeO2/PS复合颗粒.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪、动态光散射仪和zata电位测定等手段对所制各样品进行了表征.将所制备的CeO2/SiO2和CeO2/PS复合颗粒用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光,用原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)观察抛光表面的微观形貌、测量表面粗糙度.结果表明:所制备的CeO2/SiO2和CeO2/PS复合颗粒呈球形,粒径在150~200nm,CeO2纳米颗粒在SiO2和PS微球内核表面包覆均匀.包覆的CeO2颗粒与si02内核之间形成了化学键结合.CeO2颗粒的包覆显著的改变了复合颗粒的表面电性.AFM测量结果表明:经CeO2/SiO2和CeO2/PS复合磨料抛光后的硅热氧化片表面在5μm×5μm范围内粗糙度值分别为0.292nm和0.180nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志刚	江苏大学材料科学与工程学院	90	1299	21.0	30.0
5	陈杨	江苏大学材料科学与工程学院	10	230	8.0	10.0
9	隆仁伟	江苏工业学院材料科学与工程学院	5	42	5.0	5.0