流化床法制备太阳能级多晶硅用沉积硅粒的性能研究

• 作者: 李昀珺 铁生年
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 流化床法 太阳能多晶硅 沉积硅粒 性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4

摘要

在流化过程中，为保证硅粒在流化床中分布状态良好，提高硅的沉积产率，同时要达到产生太阳能级纯度的多晶硅，对流化床中流化的硅粒的粒径和纯度要求是非常严格的，本文采用球磨技术，通过正交实验，对球磨时间、球磨介质、球的均匀度工艺参数对沉积硅粒的粒径影响及球磨污染程度和形貌特征进行试验研究。试验表明：选择合适的球磨罐和球磨介质，以高纯工业硅进行实验，制得的硅粒平均粒径处于145—166um和166—180um之间时，在进行流态化试验时，完全满足太阳能级多晶硅用沉积硅粒在流化床中流态化分布的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	铁生年	青海大学新材料实验室	110	679	13.0	21.0
2	李昀珺	青海大学新材料实验室	9	112	5.0	9.0