全自动涂胶机的研制

• 作者: 冯久平 王朝伟
• 来源期刊: 电子元器件资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 自动 旋转 涂胶
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 晶圆加工设备
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TS8
• 字数: 2275字
• 语种: 中文

摘要

介绍了全自动涂胶机的原理、主要性能、技术指标及设计中所采用的几项关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王朝伟		3	9	1.0	3.0
2	冯久平		2	8	1.0	2.0