应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比

• 作者: 巩盾 张忠玉 王彤彤 王笑夷 申振峰 郑宣鸣 陈红 高劲松
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: TMC系统 表面改性 SiC反射镜 信噪比
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2952-2958
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4|TH703
• 字数: 3355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.12.012

摘要

为了消除SiC反射镜的固有缺陷,提高反射式光学系统的信噪比,使用SiC表面改性技术对同轴三反射(TMC)光学系统的SiC反射镜进行了处理.首先,应用等离子体辅助沉积(PIAD)技术沉积了一层Si改性层,接着对改性层进行精密抛光,然后在反射镜表面镀制Ag膜和增强膜,最后获得了表面改性对TMC光学系统信噪比的影响.Wyko轮廓仪测试表明,SiC反射镜的粗糙度R_a由10.42 nm降低到了0.95 nm;镀制高反射膜后,主镜、次镜、三镜及折叠镜在0.5～0.8 μm可见光波段的反射率＞98%.计算结果表明,应用了表面改性技术后TMC反射式光学系统的信噪比提高了5%以上,说明SiC表面改性技术是一种提高TMC光学系统信噪比的有效方法.