离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法

• 作者: 周林 李圣怡 段纬然 焦长君 解旭辉
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 离子束修形 螺旋扫描方式 Richard-Lucv迭代算法
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 先进制造工艺技术
• 页码范围: 192-197
• 页数: 6页
• 分类号: TH171
• 字数: 4995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2009.12.192

摘要

研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法.根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间.在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则.建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究.试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ.研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
3	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
4	焦长君	国防科技大学机电工程与自动化学院	10	210	6.0	10.0
5	段纬然	国防科技大学机电工程与自动化学院	7	45	4.0	6.0