聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究

• 作者: 崔千红 杨子健 杨建红 王敬松 韦波
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 电容 CMOS工艺 响应时间
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.04.018

摘要

改变传统丝网印刷制作电极的方法,采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器.并对其结构进行了理论分析,确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计.对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试.通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨子健	兰州大学物理学院	5	23	3.0	4.0
2	韦波	兰州大学物理学院	3	11	2.0	3.0
3	王敬松	兰州大学物理学院	3	13	2.0	3.0
4	崔千红	兰州大学物理学院	3	11	2.0	3.0
5	杨建红	兰州大学物理学院	44	143	6.0	9.0