碳纳米管聚苯胺薄膜SAW SO2传感器的实验研究

• 作者: 刘君华 吴媛 巨永锋 文常保 朱长纯 胡小东 许宏科 邱彦章
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 碳纳米管聚苯胺薄膜 SO2气体 传感器
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 157-160
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TP212
• 字数: 3244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.02.004

摘要

以128°Y-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器.该传感器中的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,提高了传感器的可靠性和准确性.利用原位法制备的碳纳米管聚苯胺增加了SO2气体的吸附面积,提高了传感器的灵敏度.实验结果表明,基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;当输入体积分数为1×10-6时,传感器的响应灵敏度约为8.3 kHz,比单一聚苯胺薄膜高1.8 kHz.此外,该传感器也具有更好的线性特性.