二维快速控制水冷反射镜装置设计

• 作者: 宣明 邵帅 郭劲 高云国
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高能激光系统 快速控制反射镜 水冷 音圈电机
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 493-498
• 页数: 6页
• 分类号: TN243|TH703
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.03.005

摘要

为了进一步精确控制激光发射方向,减少反射镜热畸变以提高光束质量,设计了一种新型二维快速控制水冷反射镜装置.根据高功率激光反射镜的设计和制作原则,对反射镜的材料性能进行了分析,采用主动水冷铜镜来减小镜面热畸变使镜面变形控制在0.1 μm以内.然后,分别从机械结构、驱动器和控制系统、角度检测元件3方面设计了反射镜装置,其x-y轴框架式的机械结构形式,可减小反射镜的冷却水管对轴系回转精度的影响,使回转精度＜2″.实验测试结果表明,二维快速控制水冷反射镜装置工作稳定、可靠,控制光束稳定的精度＜1″,可满足对激光传输方向的精确实时控制和对光束整体倾斜方向进行校正等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭劲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	155	1436	21.0	30.0
2	宣明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	42	470	13.0	20.0
3	高云国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	77	808	16.0	24.0