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采用环形岛棱结构的电容式压力传感器
采用环形岛棱结构的电容式压力传感器
作者:
邹黎明
郭航
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机电系统
电容式压力传感器
线性度
有限元法
摘要:
改变传感器可动极板的结构是解决MEMS电容式压力传感器信号输出与压力输入呈非线性关系问题的方法之一.设计了一种新型结构电容式压力传感器,其可动极板是LPCVD氮化硅构成的一个方形薄膜,薄膜中心到边缘之间由PECVD氧化硅构筑一个环形岛棱,使可动极板在压力负载下的变形趋于平整,减小了边缘杂散电容带来的非线性,从而改善了该传感器的输出特性.利用有限元方法分析了不同尺寸的动极板在不同外加压力作用下压力与形变的关系,以及相应的应力分布情况,并采用最小二乘拟合直线法计算了压力传感器的线性度.分析结果表明,与常规的双极板微型电容式压力传感器相比,新型结构压力传感器的线性度改善了48.38%,达到了1.6%.
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文献信息
篇名
采用环形岛棱结构的电容式压力传感器
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
微机电系统
电容式压力传感器
线性度
有限元法
年,卷(期)
2009,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1385-1390
页数
6页
分类号
TP212.12
字数
995字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.032
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
郭航
厦门大学萨本栋微机电研究中心
34
112
6.0
8.0
2
邹黎明
厦门大学萨本栋微机电研究中心
1
9
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
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二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
电容式压力传感器
线性度
有限元法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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