微区微纳米压印技术及设备

• 作者: 周雷 申溯 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米压印 微结构 热压印 控制
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 807-812
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.04.018

摘要

为了实现在大幅面基底上制作微纳结构,开发了一种新型的分布微区微纳米压印技术和相应的设备.介绍了分布微区微纳米压印的技术设想,并以提高压印稳定性和设计可旋转压印头为目标,设计了气动驱动装置和压印头结构.然后,通过实验检测了平台运动精度,并在碳酸聚酯材料上热压印了周期为400 nm的光栅.最后,以背光模组用光扩散片为应用实例,介绍了分布微区微纳米压印技术与设备的可能应用领域.实验结果表明,在1 m的行程范围上,平台位移精度可达100 nm,压印头旋转角度为-90°～90°,压印深度可由加热温度和驱动力大小控制.制作的扩散片厚度为125μm,扩散半径为5 mm.微区微纳米压印技术和设备特别适合大幅面光学衍射图像和平板显示器件的微结构制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	魏国军	苏州大学信息光学工程研究所	19	170	8.0	12.0
3	周雷	苏州大学信息光学工程研究所	8	31	3.0	5.0
4	申溯	苏州大学信息光学工程研究所	18	42	4.0	6.0