PLD制备DLC的研究进展

• 作者: 张金平
• 来源期刊: 重庆科技学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 类金刚石薄膜 超快脉冲激光
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 153-158,175
• 页数: 7页
• 分类号: O484|O766
• 字数: 5204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1980.2009.03.048

摘要

介绍了DLC薄膜优良的特性及应用,阐述了脉冲激光沉积(PLD)方法的工作原理及其优缺点,设计了制备DLC的PLD装置,分析了国内外用PLD制备DLC超硬薄膜的现状和发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金平		11	20	3.0	4.0