PLD方法制备α-DLC薄膜硬度与应力研究

• 作者: 张金平 曾体贤 陈太红
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: PLD α-DLC 残余应力 硬度 杨氏模量 sp3 sp2
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 83-86,100
• 页数: 5页
• 分类号: TG113.25
• 字数: 3574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2009.05.023

摘要

用脉冲激光沉积(PLD)方法,在单晶Si(100)面上制备超硬非晶类金刚石薄膜(α-DLC),研究了α-DLC的表面形貌、结构、应力、硬度及杨氏模量.原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑(最大均方根粗糙度仅为0.877nm).小角衍射(XRD)分析表明薄膜中的结构为非晶态并且有巨大的残余应力,计算表明,最大残余应力可达34.9GPa,并且与激光重复频率和能量密度成正比,一定温度的原位退火可以有效降低薄膜的残余应力;纳米压痕测试表明薄膜硬度>20GPa,弹性模量>200GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈太红	西华师范大学物理与电子信息学院	61	155	7.0	9.0
2	张金平	西华师范大学物理与电子信息学院	11	20	3.0	4.0
3	曾体贤	西华师范大学物理与电子信息学院	47	165	5.0	12.0