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多晶硅生产中精馏节能减排与提高质量技术的应用
多晶硅生产中精馏节能减排与提高质量技术的应用
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摘要：
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多晶硅生产技术发展方向探讨
多晶硅
改良西门子法
高频电源技术
硅烷法
气液沉积法
多晶硅还原炉能耗分析及节能措施
多晶硅
改良西门子法
还原炉
能耗
能量平衡
物料平衡
多晶硅薄膜生产中的硅酸乙酯源柜温度与流量控制
TEOS源柜
温度与流量控制
专家PID控制
集成电路制造
多晶硅副产物在生产系统内的循环利用
多晶硅
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精细与专用化学品
主办单位：
中国化工信息中心
金源东和化学有限责任公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1008-1100
CN：
11-3237/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京市安外小关街53号
邮发代号：
82-877
创刊时间：
1986
语种：
chi
出版文献量（篇）
7403
总下载数（次）
24
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