高g值压阻式微加速度计设计

• 作者: 刘凤丽 郝永平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压阻加速度计
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1442-1447
• 页数: 6页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.042

摘要

利用加速度计的机械变形导致电阻的变化,设计了一种测量高g值的加速度计.在CoventorWare软件下建立了加速度计的加工工艺流程和实体模型.利用压阻分析模块MemPZR,采用FEM分析方法,通过改变压阻块在悬臂梁上的位置,得到压阻块位置与器件输出电流之间的关系,找到了压阻块在悬臂梁上的最优放置位置.改变压阻块的电导率,验证了器件的灵敏度变化与压阻率变化的趋势是一致的.在20 kg加速度的输入下,得到了压阻块应力的分布,以及电流的大小及分布,和悬臂梁的应力大小及分布,验证了加速度计的抗过载能力.