探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统

• 作者: 唐晓东 徐文东 李小刚 洪小刚 赵成强
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光刻 表面等离子体共振 原子力显微镜 探针
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 473-477
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 3564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092902.0473

摘要

提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统.此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果.系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制.通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性.研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	238	9.0	14.0
2	徐文东	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	490	11.0	22.0
3	洪小刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	21	2.0	2.0
4	赵成强	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	23	2.0	4.0
5	唐晓东	华东师范大学信息科学技术学院	4	24	2.0	4.0