不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

• 作者: 王震 胡建平 邵建达 陈松林 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 激光损伤 大气环境 真空环境 高反射薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1829-1832
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2417字
• 语种: 中文

摘要

建立了光学元件在真空环境下的激光损伤测量系统,采用电子束蒸发和离子辅助技术制备了HfO_2/SiO_2高反射薄膜.对不同工艺制备的薄膜在真空与大气环境下的1 064 nm波长的激光损伤阈值进行了测量,对薄膜的损伤形貌进行了观测.对薄膜的损伤特性研究分析结果表明:薄膜在真空环境中的损伤阈值相对大气环境中有明显下降,其1∶1测试和R∶1测试损伤阈值下降约30%;两种环境中的薄膜损伤特性也不同,真空环境中损伤阈值的下降可能与热传导的不同有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	陈松林		23	92	6.0	7.0
3	马平	中国科学院上海光学精密机械研究所	45	544	12.0	21.0
9	胡建平		22	276	10.0	16.0
13	王震		8	24	3.0	4.0