熔石英表面缺陷的CO2激光局部修复技术

• 作者: 叶琳 吕海兵 王海军 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 郑万国 黄进
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 缺陷修复 CO2激光辐照 熔石英 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1282-1286
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 3046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093605.1282

摘要

熔石英材料因加工产生的表面缺陷是造成其在实际应用过程中抗激光损伤能力下降的主要原因.利用CO<,2>激光对石英表面特征缺陷进行定点局部高温熔融修复的技术研究,结果发现这种熔融修复可明显减小熔石英表面缺陷尺度并改善缺陷内结构质量.通过对修复后的表面缺陷进行损伤阈值考核发现,熔石英表面200 nm深度左右的划痕在修复后损伤阈值提升1倍左右,横向尺度10～100μm内的表面初始坑状损伤点的损伤扩展阈值和相同辐照通量下的抗辐照次数也获得明显提高,从而证实了利用CO<,2>激光局部定点修复以提高熔石英负载能力、延长使用寿命的可行性.