CO2激光对熔石英表面小尺寸损伤的修复

• 作者: 向霞 吕海兵 李熙斌 王成程 王海军 袁晓东 郑万国 陈猛
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光 熔石英 热应力 损伤修复
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 2209-2213
• 分类号: TN249
• 字数: 2661字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102209.2209

摘要

利用10.6 μm的CO2激光对不同直径的点状损伤和不同宽度的划痕进行了修复.经过波长351 nm的紫外激光考核发现,对于直径小于80 μm的点状损伤和对于宽度小于40 μm的划痕,随着损伤点尺寸和划痕宽度的增加,修复后阈值提高程度逐渐降低.划痕的宽度在达到40 μm以后修复效果非常微弱.修复过程中,由于作用时间较短及温度分布不均产生了热应力导致样片损伤以后产生径向裂痕,后续的紫外激光会使裂痕明显扩展.当样品被置于高温退火炉内退火3 h以后,应力导致开裂的现象得到了解决.