相移雅满横向剪切干涉仪

• 作者: 刘立人 周煜 孙建锋 栾竹 王利娟
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 横向剪切干涉仪 相移 波面检测
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1156-1159
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093605.1156

摘要

雅满横向剪切干涉仪是一种很重要的波面检测仪器,特别是可以对白光的波面进行检测.为了弥补传统雅满横向剪切干涉仪的不足,提出了一种相移雅满横向剪切干涉仪.它是在雅满横向剪切干涉光路中插入起偏器,1/4波片和检偏器所形成,实现了剪切干涉与相移的结合,能有效地提高测量精度,可适用于白光的波面检测,结构简单且操作方便.实验中通过旋转检偏器获得了相移干涉图,其结果很好地验证了该相移雅满横向剪切干涉仪的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立人	中国科学院上海光学精密机械研究所	206	2115	24.0	35.0
2	栾竹	中国科学院上海光学精密机械研究所	45	494	12.0	21.0
3	周煜	中国科学院上海光学精密机械研究所	53	346	11.0	18.0
4	孙建锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	61	402	12.0	19.0
5	王利娟	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	39	3.0	6.0