激光直写制作的小F数连续浮雕衍射透镜轴向聚焦特性分析

• 作者: 单明广 智佩 郭黎利 钟志
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 小F数连续浮雕衍射透镜 轴向聚焦 瑞利-索末菲衍射理论 激光直写
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 3192-3196
• 分类号: O436.1
• 字数: 3217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092911.3192

摘要

为确定卷积效应以及深度制作误差对小F数连续浮雕衍射透镜(DOE)轴向聚焦特性影响,基于瑞利-索末菲衍射理论建立了激光直写制作的连续浮雕衍射透镜非旁轴近似轴向光强分布模型.该模型考虑了连续浮雕衍射透镜的轴向衍射聚焦特性与透镜结构参数、写入光斑尺寸和扫描间距以及深度制作误差的关系,克服了傍轴近似条件下传统模型的不精确性.为验证模型的正确性,用激光直写制作了设计波长为441.6 nm,F数为4以及相位匹配因子为3的连续浮雕衍射透镜,并测试了波长441.6 nm激光入射时透镜的轴向聚焦特性.实验与分析表明,该模型分析结果与实验测试结果符合,从而证实模型的有效性,为激光直写制作的小F数连续浮雕衍射透镜的应用提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭黎利	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	227	1481	19.0	25.0
2	钟志	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	28	256	9.0	15.0
3	单明广	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	15	69	5.0	8.0
7	智佩	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	1	0	0.0	0.0