用于无模光刻的连续浮雕谐衍射透镜阵列设计

• 作者: 单明广 郭黎利 钟志
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 无模光刻 连续浮雕衍射透镜 谐衍射
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 9-14
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2438字
• 语种: 中文

摘要

为了获得实时调焦写入以及高的系统分辨力和衍射效率,提出了一种基于连续浮雕谐衍射透镜阵列的无模光刻方法.该方法采用连续浮雕谐衍射透镜阵列作为无模光刻的物镜阵列,在兼顾系统分辨力和衍射效率基础上,由同一衍射透镜阵列实现聚焦写入和检焦;同时利用谐衍射透镜的深浮雕特性调制透镜的环带宽度,降低透镜的制作难度.在分析谐衍射透镜特点以及考虑激光直写制作工艺对连续深浮雕衍射聚焦特性影响的基础上,设计、制作并测试了设计波长为441.6 nm, F数为7.5的连续浮雕谐衍射透镜阵列.测试结果表明,该阵列同时具有聚焦写入和检焦功能,且对写入激光和检焦激光的衍射效率均优于70%,有望改善无模光刻的制作质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭黎利	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	227	1481	19.0	25.0
2	钟志	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	28	256	9.0	15.0
3	单明广	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	15	69	5.0	8.0