128×128 PtSi红外焦平面用硅衍射微透镜阵列的设计与制备

• 作者: 易新建 李毅 陈思乡
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外焦平面 衍射 微透镜阵列
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 197-200
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2000.03.010

摘要

通过考虑互相关联的光学和工艺参数,设计了3～5μm红外128×128硅衍射微透镜阵列.阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列.对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论,对制备出的128×128硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李毅	华中理工大学光电子工程系	5	40	4.0	5.0
2	易新建	华中理工大学光电子工程系	20	146	7.0	11.0
3	陈思乡	华中理工大学光电子工程系	6	41	3.0	6.0