中红外硅微透镜阵列的离焦效应

• 作者: 侯治锦 司俊杰 左海杰 应磊莹 张保平 张江勇 杨文 陈洪许
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长结构 FDTD 红外探测器 离焦 微透镜阵列
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 149-153
• 页数: 5页
• 分类号: TN214
• 字数: 457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.02.005

摘要

采用严格数值算法对中红外硅微透镜阵列进行了模拟,该微透镜阵列特征尺寸小于波长工作波长.研究发现该微透镜阵列存在一个显著的离焦效应,其离焦量达到0.4左右,超出了现有的传统理论模型预测范围.对微透镜阵列进行了制作和焦距测试,发现测试结果跟数值模拟基本吻合.微纳衍射光学集成系统中透镜离焦量是系统集成非常重要的一个参数,该研究结果为硅微透镜阵列和中红外探测器光学集成提供有效参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张保平	厦门大学电子工程系微纳光电子研究室	21	95	5.0	9.0
2	杨文	厦门大学电子工程系微纳光电子研究室	2	1	1.0	1.0
3	应磊莹	厦门大学电子工程系微纳光电子研究室	8	6	2.0	2.0
4	张江勇	厦门大学电子工程系微纳光电子研究室	7	12	2.0	3.0
5	左海杰	厦门大学电子工程系微纳光电子研究室	1	0	0.0	0.0
6	侯治锦		1	0	0.0	0.0
7	陈洪许		1	0	0.0	0.0