9μm截止波长128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列

• 作者: 冯震 刘英斌 周瑞 娄辰 张世祖 李献杰 赵永林 赵润 过帆
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaAs/GaAs 量子阱红外探测器 红外热成像
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1355-1359
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.004

摘要

报道了128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作.采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作.为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件;77K下2V偏压时暗电流密度为1.5×10-3A/cm2;80K工作温度下,器件峰值响应波长为8.4μm,截止波长为9μm,黑体探测率DB 为3.95×108(cm·Hz1/2)/W.将128×128元 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连,在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像,盲元率小于1%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李献杰		12	45	4.0	6.0
2	刘英斌		1	13	1.0	1.0
3	冯震		2	26	2.0	2.0
4	过帆		1	13	1.0	1.0
5	赵永林		4	37	4.0	4.0
6	赵润		1	13	1.0	1.0
7	周瑞		2	13	1.0	2.0
8	娄辰		1	13	1.0	1.0
9	张世祖		1	13	1.0	1.0