传感器芯片系统研究与应用

• 作者: 佟建华 夏善红 孙楫舟 张虹 彭春荣 董汉鹏 边超 郑凤杰 陈庆永 陈贤祥
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微型 传感器 芯片系统
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 特邀报告
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.z1.003

摘要

基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向.近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等.文中分别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例,简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量微传感器系统及其应用.