导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响

• 作者: 倪争技 庄松林 张大伟 朱亦鸣 袁丽萌 陈麟 黄元申
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 亚波长光栅 薄膜生长 占空比 正弦槽形 导模共振
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 3060-3063
• 分类号: TIM3|O484.1
• 字数: 1901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093611.3060

摘要

为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性,以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响,对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析.实验发现,当光栅槽深为80 nm,Au膜为100 nm时,薄膜的生长是仿形生长,光栅的正弦槽形特征和周期都基本没有发生变化,但镀膜后,出现光栅的正弦占空比增加、槽的深度减小以及槽深的均匀性变差等现象.对引起这种现象的原因进行了分析.提出了由于光栅微结构而给薄膜生长带来的阴影效应现象,并分析了正弦占空比增加对导模共振滤光片光谱特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱亦鸣	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	33	76	4.0	8.0
2	张大伟	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	117	391	11.0	15.0
3	庄松林	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	199	1335	20.0	29.0
4	黄元申	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	56	348	11.0	16.0
5	倪争技	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	43	341	12.0	17.0
6	陈麟	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	17	37	4.0	5.0
7	袁丽萌	上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室	2	16	2.0	2.0