虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现

• 作者: 伍乃骐 李飞
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 晶圆制造 自动组合设备 仿真 eM-Plant
• 年，卷（期）: 2009,（23）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2871-2875
• 页数: 5页
• 分类号: TP206
• 语种: 中文

摘要

以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置.该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍乃骐		77	815	15.0	25.0
2	李飞		2	5	1.0	2.0