能动镜中力驱动器的实现及性能测试

• 作者: 凡木文 周睿 李梅 邓建明
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 能动镜 力驱动器 微位移驱动器 滚珠丝杆 PID控制
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 自适应光学
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TH751
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20103001.0001

摘要

用于能动镜中的力驱动器采用直流电机作为驱动源,经减速器后利用滚珠丝杆传动加弹簧组件实现纳米级微位移,而采用丝杆副实现自锁.驱动器基于拉压力传感器实现闭环控制,高增益的PID控制器克服了机械摩擦的微动特性获得比较好的线性度.用4个力驱动器和3个刚性支撑组成了一个能动镜原型样机,光学干涉仪测量结果表明,力驱动器平均位移分辨力约为10 nm、最大可变形量达±8 μm、最大驱动力达±700 N.实验结果证明了力驱动器应用于能动镜驱动器的可行性,为能动镜的实用化提供了实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李梅	中国科学院光电技术研究所	84	918	16.0	26.0
2	周睿	中国科学院光电技术研究所	26	352	11.0	18.0
3	凡木文	中国科学院光电技术研究所	6	43	4.0	6.0
4	邓建明	中国科学院光电技术研究所	20	352	9.0	18.0