铜/钨酸锆功能梯度薄膜的热应力场特征有限元分析

• 作者: 严学华 徐驰 李军 李孟伟 程晓农
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元分析 铜/钨酸锆 功能梯度薄膜 热应力场
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TQ050.4+3
• 语种: 中文

摘要

用有限元法建立了铜/钨酸锆缓和热应力功能梯度薄膜的数学模型,讨论了梯度薄膜的层数N,成分分布指数P,梯度层厚度H_f,基片厚度H_m与纯铜层厚度H_c,以及不同工作环境温度θ对薄膜热应力分布的影响.由热力学计算可知:梯度层数越多,缓和热应力效果越好.考虑到制备工艺复杂程度,参考数值模拟结果可知:当N≥5,P=1时,可以减小热应力最大值,热应力最大值出现在基体与梯度层的界面处:当N=5,2≤P≤3,热应力最火值位于梯度层内;适量增加梯度层厚度H_和基片厚度H_有利于减小热应力最大值,此梯度缓冲层在室温到α相钨酸锆陶瓷的相变温度(120℃)区间内,对于各厚度的功能铜层都有良好的保护作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	严学华	江苏大学材料科学与工程学院	46	410	12.0	18.0
3	李军	江苏大学材料科学与工程学院	20	167	7.0	12.0
4	徐驰	江苏大学材料科学与工程学院	12	41	4.0	6.0
5	李孟伟	江苏大学材料科学与工程学院	3	8	1.0	2.0