激光损伤的光散射法判别研究

• 作者: 徐均琪 梁海锋 苏俊宏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光损伤 光散射判别 高反射薄膜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 325-328
• 分类号: O484.5
• 字数: 3399字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.03.23

摘要

在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置.为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200,250 mm)条件下,研究了损伤点散射光能量的角分布.获得结果如下:在相同的探测角度上,散射光能量随着损伤面积和测试光入射角度增加而增加.在探测角度小于反射角度时,随着探测角度增加散射光能量逐渐变强;当探测角度大于反射角度后,随着散射角度增加散射光能量逐渐变弱.散射光相对能量在反射光方向附近出现极大值;在60°入射时,散射光相对能量具有最大值;探测距离在200 mm时,最大散射光相对能量大于探测距离在250 mm时.根据以上结论,可以确定在利用光散射判别损伤的测量系统中,探测器应放置在反射光方向的两侧,并且尽量增加测试光入射角度和缩小探测器与样片间距离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
2	梁海锋	西安工业大学光电工程学院	35	180	7.0	12.0
3	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0